SCCM和SLM都是 气体质量流量单位，用于表示在标准状态下的气体流量。

SCCM

定义：Standard Cubic Centimeter per Minute，即标准状态下每分钟1立方厘米（1ml/min）的流量。

标准状态：温度为273.15K（0℃），压力为101325Pa（760mmHg）。

SLM

定义：Standard Litre per Minute，即标准状态下每分钟1升（1L/min）的流量。

标准状态：温度为273.15K（0℃），压力为101325Pa（760mmHg）。

换算关系

1 SLM = 1000 SCCM

1 SCCM = 0.001 SLM

这些单位在化学反应、材料科学、半导体制造等领域中广泛应用，用于精确控制和测量气体的流量。