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测射靶材是什么?

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测射靶材,也称为溅射靶材,是 制备薄膜材料的主要技术之一。在溅射镀膜工艺中,靶材作为轰击目标,通过高能离子束流轰击固体表面,使固体表面的原子或分子与离子发生动能交换并转移到衬底上,形成特定功能的薄膜。

靶材在电子、光伏、显示技术等多个领域有广泛应用,例如:

集成电路:

用于制造半导体器件中的各种薄膜。

平板显示:

用于制造液晶显示器、有机发光二极管(OLED)等。

太阳能电池:

用于提高电池的光电转换效率。

记录媒体:

用于制造磁带、磁盘等存储介质。

智能玻璃:

用于改善玻璃的透光性和隔热性。

靶材的性能直接影响薄膜的导电性、光学特性及化学稳定性。因此,靶材的纯度和稳定性要求非常高。根据不同的应用需求,靶材可以分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材等,并且可以按照形状和尺寸进行分类。

总之,测射靶材在制备各种功能薄膜中起着至关重要的作用,其纯度和性能直接影响最终薄膜的质量和性能。